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CN
1、CCD視覺定位，高精度
2、支持指令操作
3、支持232串口通訊
4、配備獨(dú)立系統(tǒng)支持更新
5、支持加裝ST-OCR100系列Wafer上下讀碼模塊
6、可定位不透/半透/貼膜玻璃制品和化合物制品
7、兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)Flat/notch晶圓
8、支持對Taiko片/上下表面不可接觸的晶圓定位
9、夾爪帶夾持力設(shè)定及力反饋，防止夾傷晶圓
加裝型宏觀AOI系統(tǒng)
OM-自動顯微鏡系統(tǒng)
OCR-字符讀碼模塊
夾持PA-夾持晶圓預(yù)定位模塊
伯努利PA-伯努利晶圓預(yù)定位模塊
PA-晶圓預(yù)定位模塊
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