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CN
1、加裝在Robot傳送晶圓的路徑中
2、傳送過程中晶圓宏觀AOI檢測
3、清洗、研磨等站點可大量使用
4、16K*16K分辨率，12寸晶圓單像素精度18.75um
5、 可檢測Scratch，劃痕、崩邊、缺角、破片、水痕、殘留等缺陷
加裝型宏觀AOI系統(tǒng)
OM-自動顯微鏡系統(tǒng)
OCR-字符讀碼模塊
夾持PA-夾持晶圓預(yù)定位模塊
伯努利PA-伯努利晶圓預(yù)定位模塊
PA-晶圓預(yù)定位模塊
服務(wù)熱線
關(guān)于視拓
產(chǎn)品中心
新聞中心
